Die Dünnschichttechnik ist eine spezielle Art der Aufbau- und Verbindungstechnik zur Herstellung kleinster elektronischer Schaltungen für die Sensorik oder die Mikrosystemtechnik. Die Abscheidung der Schichten auf einen isolierenden Träger erfolgt in CVD, PVD, mittels galvanischer oder verwandter Verfahren. Die Schichten werden zunächst vollflächig abgeschieden und anschließend mittels fotolithografischer Prozesse strukturiert und dann geätzt. Die Schichtdicke liegt dabei im Bereich weniger Mikrometer bis hinein in den Nanometerbereich.

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