Das Vakuumlötsystem SRO-700 ist für Halbleiter- und MEMS-Anwendungen konzipiert und bietet eine maximale Produkthöhe von 97 mm. Es kann für Vakuumlötprozesse in Kleinserien oder F&E eingesetzt werden. Das „coldwall“ Kammerprinzip unterstützt eine effektive thermische Kontrolle, während die IR-Heiztechnologie eine gleichmäßige Wärmeverteilung gewährleistet. Durch den Einsatz von Vakuum und Ameisensäure sorgt der SRO-700 für porenfreie Lötstellen und liefert konsistente und zuverlässige Ergebnisse.

Technische HighlightsSRO-700

  • Mit Ameisensäure angereicherte Atmosphäre
  • Direkte IR-Beheizung
  • Mehrfache TC-Überwachung
  • Prozesstemperatur bis zu 450 °C
  • Sauerstoff <3,0 ppm mit
  • Reinstgas N2

AnwendungsbereicheSRO-700

  • Leistungshalbleiter (IGIBT, SiC-MOSFET)
  • Sensoren
  • MEMS-Bauteile
  • Die Attachment
  • Hochleistungs-LED
  • Hybridmontage
  • Flip Chip
  • Package Sealing

Backend Semiconductor Production SRO-700Semicon

SRO-700Semicon

Technische Daten

Abmessungen:
560 x 870 x 600 mm
Gewicht:
65 kg
Maximale Produkthöhe:
97 mm
Beheizte Fläche:
227 x 217 mm
Heizverfahren:
Anordnung von 8 IR-Strahlern in 2 Zonen
Vakuumlevel:
<0,05 mbar

Optionen

  • Feinvakuum
  • Hochvakuum
  • Externes Kühlgerät